高纯氧

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高纯氧

高纯氧

高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。

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高纯氧

二氧化硅

高纯氧气

高纯氧气

高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积；作为氧化源与产生高纯水的反应剂；干法氧化；与四氟化碳混合，用于等离子刻蚀。

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高纯氧

二氧化硅